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從晶圓到芯片是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,晶圓是制造芯片的基本材料,由高純度的單晶硅切割而成。芯片則是基于晶圓上制造出的微小電子元件,從晶圓到芯片,機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)貫穿始終,為制造工藝提供了重要的支持和保障。
在晶圓制造階段,機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)主要用于以下工序:
1.表面檢測(cè):通過(guò)對(duì)晶圓表面進(jìn)行掃描,檢測(cè)表面是否存在雜質(zhì)、劃痕、凸起等缺陷。
2.尺寸測(cè)量:通過(guò)高精度測(cè)量系統(tǒng),對(duì)晶圓的直徑、厚度、形狀等進(jìn)行測(cè)量,確保晶圓尺寸符合要求。
3.表面激光字符識(shí)別:利用機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)識(shí)別刻寫(xiě)在晶圓表面的字符,包括產(chǎn)品信息、批次號(hào)等。
4.晶圓切割:通過(guò)機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)晶圓進(jìn)行精確切割,確保切割后的芯片尺寸和形狀一致。
5.定位與找切割道:利用機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)晶圓進(jìn)行精確定位,確保切割道的位置準(zhǔn)確,從而提高芯片的良率。
6.缺陷檢測(cè):在晶圓制造的各個(gè)階段進(jìn)行缺陷檢測(cè),包括表面缺陷、線(xiàn)寬均勻性等,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
康耐德智能在半導(dǎo)體領(lǐng)域也進(jìn)行了自主研發(fā),針對(duì)晶圓和晶片對(duì)位、封裝元件切割檢測(cè)、半導(dǎo)體晶圓切割質(zhì)量檢測(cè)、半導(dǎo)體晶片ic表面檢測(cè)、芯片印刷字符識(shí)別都有一系列的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)解決方案。
從晶圓到芯片的生產(chǎn)過(guò)程中,機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)發(fā)揮著重要的作用。在各個(gè)制造工序中,機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)的應(yīng)用不僅提高了生產(chǎn)效率,還為產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力保障。
晶圓NOTCH輪廓檢測(cè)是半導(dǎo)體制造中重要的檢測(cè)環(huán)節(jié),主要測(cè)量晶圓邊緣、槽口(notch)的形狀和尺寸,確保晶圓的質(zhì)量和工藝精度。
在LED制造領(lǐng)域,灌膠工藝是確保產(chǎn)品性能與穩(wěn)定性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)
康耐德機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)的具體功能可以根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景和需求進(jìn)行定制和優(yōu)化。
康耐德機(jī)器視覺(jué)AOI檢測(cè)系統(tǒng)的OCR字符識(shí)別功能具有以下特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
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