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晶圓視覺檢測是半導體制造過程中的關鍵環節,它能夠確保晶圓的良品率和生產效率。目前,機器視覺算法結合晶圓缺陷檢測方法因其普適性強、速度快而廣泛應用于工業檢測中。
康耐德視覺檢測系統可以高效識別晶圓表面缺陷并分類、標記,輔助晶片分揀。能夠通過視覺對位系統、視覺定位、視覺檢測等技術,提供了高精度的視覺檢測解決方案。
康耐德晶圓表面缺陷檢測系統主要檢測晶圓外觀的損傷、毛刺等缺陷,具體應用有:
表面破損
檢測晶圓表面破損進行識別,計算破損面積及定位
2.晶圓序列碼讀取
檢測晶元邊緣的序列碼,抓取序列碼的清晰輪廓并且能夠識別
康耐德智能針對晶圓表面缺陷的視覺檢測研究也在不斷深入,使用灰度模板匹配算法提取晶圓上的晶粒圖像,以及基于深度學習模型對晶圓上復雜的劃痕、污染缺陷進行目標檢測。
通過深度學習算法不斷優化識別效果,結合工業相機、機械手臂、自動化產線等設備,為客戶提供多相機成像解決方案,可以應用于半導體封測設備、半導體晶圓貼片機和鍵合設備中。這些技術的應用,不僅提高了晶圓檢測的精度,也推動了半導體制造技術的發展。
晶圓NOTCH輪廓檢測是半導體制造中重要的檢測環節,主要測量晶圓邊緣、槽口(notch)的形狀和尺寸,確保晶圓的質量和工藝精度。
在LED制造領域,灌膠工藝是確保產品性能與穩定性的關鍵環節
康耐德機器視覺系統的具體功能可以根據不同的應用場景和需求進行定制和優化。
康耐德機器視覺AOI檢測系統的OCR字符識別功能具有以下特點和優勢
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